1994年6月，英特尔和HP开始在服务器微处理器领域进行协作，决定共同开发全新的64位架构。到了1997年11月，双方宣布将推出基于显式并行指令计算(EPIC--Explicitly Parallel Instruction Computing）的安腾架构，并就推出产品代号为"Merced"（现名为"安腾"）的IA-64处理器家族的计划进行了磋商。1999年10月，英特尔宣布其原产品代号为"Merced"的第一款64位处理器正式名称为Itanium（安腾）。
安腾处理器是英特尔公司64位处理器家族的第一位成员，它可使客户以更经济的成本、获得针对高端64位服务器和工作站的更广泛的平台和应用选择。2001年6月，英特尔最终发布了首个安腾处理器Merced并出货。它以180纳米制程生产，时钟主频分别为733和800MHz，可选2MB或4MB off-die三级缓存。这是第一代安腾处理器，Merced后来升级为Itanium2。
2002年7月,Itanium2(安腾2)系列作为第一代安腾处理器的升级版本正式发布，第一款安腾2处理器开发代号为McKinley。这款产品是基于IA-64架构的64位处理器，它支持64位程序，使用软件模拟32位操作环境，但运行x86程序时效率低下，率先被Sun Microsystems和IBM采用。首款产品主频为1GHz，3MB的三级缓存容量，需要E8870芯片组的支持。McKinley的速度是Itanium处理器的两倍，1GHz型号的运行速度，比具有4MB三级缓存的 Itanium 800MHz处理器快1.7-2.6倍，比Sun UltraSparc III 1050MHz快1.5倍。
2003年6月30日，英特尔发布了McKinley的改进版——Madison，它以130纳米制程生产，硅晶片为374 毫米。它最初有三个版本：1.3GHz、3MB缓存，1.4 GHz、4MB缓存，1.5 GHz、6 MB缓存。2004年11月8日，Madison 9M系列处理器正式发布，十个月后又进行了更多的改进，在多项性能测试中表现非凡。
2006年7月Intel发布代号为Montecito的Itanium2处理器。 Montecito 是首款双核安腾处理器，它在单一封装Die上面具备可并行执行双线程的内核和缓存级别的处理器。在缓存的可靠性、高负载性能等方面都有所提高,并集成有其它服务器相关技术，包括虚拟化支持，耗电量只有100瓦。在发布的6 款Montecito 芯片中，时钟频率在1.4GHz-1.6GHz 之间,最高端的9050型号集成有17亿晶体管和24MB高速缓存。
按照英特尔的开发计划，Montecito以后是Tukwila处理器，它将在2008年上市。Tukwila将具有Montecito处理器的所有功能，但它将拥有4个处理核心，同时还将内建FB-DIMM内存控制器。英特尔表示Tukwila处理器上集成的内存控制器将支持4通道甚至更多的内存，通过降低内存延迟提高处理器性能，同时也减少了处理器缓存上的配置。Tukwila还将带有英特尔最新的CSI通用系统互连总线，降低系统延迟，提供串行连接方式，使用微分信号。
安腾处理器家族是专为高端企业和高性能应用设计的，能为业务智能、数据库、企业资源规划、供应链管理、高性能计算、计算机辅助工程和安全交易提供领先的性能。支持Windows、Linux、UNIX、BSD和VMS等十多种操作系统，而且具有丰富的软件应用支持，约有近万种应用软件、工具等运行在安腾处理器上。而微软对安腾的支持更是不遗余力，微软已经将Windows XP、Windows2000、Windows Server2003移植到安腾之上，而微软的下一代操作系统Vista也将继续支持安腾处理器。微软的服务器应用系统，包括SQL Server、Operations Manager、CRM Server、IIS、Visual Studio和.NET Framework等也都可以很好地在安腾处理器上运行。
安腾服务器在业界应用广泛，大部分服务器厂商都提供有基于安腾2的服务器产品，很多企业都有采用安腾服务器产品来构建自己的IT系统。 2006年1月26日，安腾解决方案联盟（ISA）公开承诺，将投资100亿美元用于开发基于安腾的解决方案，相信这将推动安腾服务器从处理器、系统开发，到持续的应用移植等多层次的进步，安腾服务器应用前景广阔。
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