SK海力士引进的EUV光刻机，可以给第四代内存减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。
目前的EUV光刻机主要在台积电、三星的晶圆代工厂部署安装，现在内存的厂商也要开始使用了。之前SK海力士就规划在今年的年底建成的M16工厂配备，据德国CB的消息，M14老厂也会引进该设备。
EUV光刻机参与的将是SK海力士的第四代（1a nm）内存，在内存业内，目前的代际划分是1x、1y、1z和1a。
EUV光刻机的参与可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。
当然，EUV光刻机实在是香饽饽。唯一的制造商ASML（荷兰阿斯麦）产能极有限，尽管一台要10亿元左右，可仍旧供不应求。这一回新老工厂其上位，不知道SK海力士从ASML那里敲定了多少台。
另外，本次报道称，三星2021年将投产EUV工艺生产的内存，也就是早些时候发布的16Gb容量LPDDR5。
SK海力士加速量产第四代内存：新旧工厂齐上EUV光刻机
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