全是高科技 Intel 25nm晶圆厂探秘

互联网 | 编辑: 李涛 2010-02-05 00:00:00编译 一键看全文

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上周末,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。

位于雪山脚下的IMFT工厂

工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。

进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)

 

晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都搭载了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。

厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。

FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。

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