高度自动化作业揭秘芯片诞生全过程

互联网 | 编辑: 贾征 2010-10-27 05:30:00转载一键看全文

“此处无金属”

“此处无金属”

Centura机器右侧的银色金属设备是一个斗式装载机(batch loader)，用于快速给一叠硅晶片降压，然后将它们输送至Centura机器中加工。绿色“无金属工具”标识意味着，这台机器被用在增加铜线路以前的一个过程。铜是一种污染物，会将加工过程的非金属阶段搞砸，所以，添加铜的机器需要进行小心隔离。

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